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X射线图

是用于X射线分析的分辨率评估图的事实上的标准

NTTX射线图的最大特点是高耐X射线辐射性、超清晰图案和低边缘粗糙度。本公司基于Ta吸收体图的SiC膜极其精确,能为用户的X射线分析系统评估提供清晰的图像。


· 特征


有三种X射线图可应用于各种方面:标准型、高分辨率和高对比度型以及超高分辨率型。可为用户的系统定制图案布局和基板尺寸。

项目

标准型

XRESO-100

高分辨率型

带较厚Ta

吸收体

XRESO-50HC

新!!

超高分辨率

XRESO-20

基板

材料、尺寸

Si 10 mm2

厚度

1mm

1mm

0.625mm

材料、

厚度

Ru 20 nm

SiN 2μm

Ru 20 nm

SiC 200 nm

SiN 50 nm

Ru 20 nm

SiC 200 nm

SiN 50 nm

图案

吸收体、

厚度

Ta 1μm

Ta 500 nm

Ta 100 nm

最小图案尺寸

100 nm

50 nm

20 nm

放射形图案

图案区域

250μm×350μm

300μm2

300μm2


· 应用


 -  X射线显微镜

 -  XUV / X射线相干成像

 - 超细X射线检查


· 超高分辨率型
    XRESO-20


标准型
XRESO-100

XRESO-100 提供低成本的100纳米分辨率。此高对比度标准图不仅被应用于科学领域,还被应用于X射线检查系统的调节等工业用途。

带较厚吸收体的高分辨率型
XRESO-50HC

XRESO-50HC提供成本合理的50纳米高分辨率。其已被应用于X射线微光束辐射、X射线显微镜和X射线相干成像等各种用途。



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