1.悬臂和材料变化
1)特殊机械性能的PPP系列针尖(超软(0.02N/M),超硬(2000N/M),超高频率(1200kHZ)
2) 磷掺杂硅针尖
3)低Q-/高Q-因子针尖
2.特殊的镀层
1)镀层可选材料:Ag, AgCl, Al, Au, Co, Cr, Cu, FeNi, Ir, MgO2, Mn,
Ni, NiCo, NiCr, Pd, Pt, PtMn, Rh, RhPt, Ti, V, W ;
2)硅针尖表面10nm氮化硅层;
3.针尖修饰
1)氮化硅/类金刚石针尖
2)碳纳米管针尖
3)小球针尖
4)圆形针尖
5)大、小平台型针尖
4.超短悬臂(超快速扫描)
1)Tipless针尖(最快5000kHZ)
2)氮化硅悬臂类金刚石针尖(最快25000kHZ)
5.特殊针尖
1)石英中间分布型针尖
2)电化学针尖(针尖、悬臂依次为):Silicon / SiO2 / Pt / SiN
3)顶端打孔型针尖
4)高谐波针尖
5)阵列型氮化硅悬臂针尖
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