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Summit系列探针台能够使用于200mm 以内晶圆的测试仪器的完整测量范围。同时在直流测试的漏电流上,兼容 PureLine 和 AttoGuard技术,可以低至1fA,是目前无与伦比的技术。此外,无论您的应用是 RF/微波、器件特性描述、晶圆级可靠性、电测试、建模或是良率提升,Summit 系列平台在晶圆上测量方面均处于业界领先地位。Cascade Microtech在低温测试下,Microchamber可以保证不结霜,低噪音,为您提供准确可靠的测量数据结果。


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