型号:

 

SPM,AFM,SEM校准标准


80110-71
80110-71M

SEM

701CE   模式:平行脊,公称螺距:700nm,材料:硅w涂层的光致抗蚀性

80110-31
80110-31M

301CE   模式:平行脊,公称螺距:300nm,材料:硅w涂层的光致抗蚀性

80110-72
80110-72M

702CE   模式:支柱阵列,公称螺距:700nm,材料:硅w涂层的光致抗蚀性

80111-31
80111-31M

AFM, SEM, TOF-SIMS, Auger, etc.

301BE   模式:平行脊,公称螺距:300nm,材料:硅钛线

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