型号:

 

自动化薄膜测绘 Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘,样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!) 測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的,您也可以创造自己的测绘方法,并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。 不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如, F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。



包含的内容:

集成光谱仪/光源装置

光纤电缆

4", 6" and 200mm 参考晶圆

TS-SiO2-4-7200 厚度标准

BK7 参考材料

整平滤波器 (用于高反射基板)

真空泵

备用灯

型号规格

型号

厚度范围*

波长范围

F50

20nm-70μm

380-1050nm

F50-UV

5nm-40μm

190-1100nm

F50-NIR

100nm-250μm

950-1700nm

F50-EXR

20nm-250μm

380-1700nm

F50-UVX

5nm-250μm

190-1700nm

F50-XT

0.2μm-450μm

1440-1690nm

F50-s980

4μm-1mm

960-1000nm

F50-s1310

7μm-2mm

1280-1340nm

F50-s1550

10μm-3mm

1520-1580nm

*取决于薄膜种类

 

 

 

 

 

 

 

 

 

常见的选购配件:

可追溯的 NIST 厚度标准

F50 平台 - 100mm200mm300mm,以及450mm450mm夹盘需要F50-450机型)

F50 小光斑选项,可见光或紫外

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