型号:

 

自动化薄膜测绘 Filmetrics F54 系列的产品能以一个电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米 可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.仅需具备基本电脑技能的任何人可在数分钟内自行建立配方 F54 自动化薄膜测绘只需联结设备到您运行Windows?系统计算机的USB端口, 可在几分钟轻松设置 不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别。通常较薄的膜需要较短波长作测量(如F54-UV) 用来测量较薄的膜,而较长的波长可以用来测量更厚,更粗糙,或更不透明的薄膜


包含的内容:

集成光谱仪/光源装置

MA-Cmount 安装转接器 显微镜转接器

光纤连接线

BK7 参考材料

TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度标准 聚焦/厚度标准

4", 6" and 200mm 参考晶圆

真空泵

备用灯


型号规格

型号

厚度范围*

波长范围

F54

20nm-40μm

380-850nm

F54-UV

4nm-30μm

190-1100nm

F54-NIR

40nm-100μm

950-1700nm

F54-EXR

20nm-100μm

380-1700nm

F54-UVX

4nm-100μm

190-1700nm

   

Spot Size

 

 

 

500μm Aperture

250μm Aperture

100μm Aperture

50μm Aperture

5x Objective:

100μm

50μm

20μm

10μm

10x Objective:

50μm

25μm

10μm

5μm

15x Objective:

33μm

17μm

7μm

3.5μm

50x Objective:

10μm

5μm

2μm

1μm

*取决于材料与显微镜

 

常见的选购配件:

可追溯的 NIST 厚度标准

F50 平台 - 100mm200mm300mm,以及450mm450mm夹盘需要F50-450机型)


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