首页 > 应用案例> 微纳米光学
MVI散射式扫描近场光学显微镜
NX10 高精度原子力显微镜
D500 高精度台阶仪
Profilm 3D光学轮廓仪
Zeta20 多模式三维光学轮廓仪
AFM SNOM/Nano IR，基于AFM高精度场强表征
亚纳米形貌、电学、力学性质综合表征
台阶高度测试、2D应力测试（可扩展3Dmapping型号）
器件轮廓测试、膜厚测试
器件宽粗糙度测试、表面轮廓形貌表征、应力应变测试
