P7 晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
D600 高精度探针式轮廓仪/台阶仪
测量几纳米到1200µm的2D和3D台阶高度、粗糙度、应力测量。
D300 经济型高精度台阶仪
测量几纳米到1000um的台阶高度、粗糙度、应力。
D500 高精度台阶仪
测量几纳米到1200µm的2D和3D台阶高度、粗糙度、应力测量。
P17 自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
P-17支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,扫描达200mm,无需图像拼接测量。
P170 全自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪
P-170结合P-17和HRP®-260的机械传送臂,提供低拥有成本,适用于半导体,化合物半导体和相...