台式无掩模光刻机
光刻模块 无掩模光刻 显微镜光刻
氮气发生器
高纯度进口氮气发生器。
内应力检测仪
内应力检测仪将全口径延迟、应力方位角等分析整合进入一键测量,确保我们的客户能够快速确认工艺
晶圆翘曲应力测量仪
具备三维翘曲(平整度)及薄膜应力的检测功能,适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆...
自由曲面三维面型检测仪
从600mm口径的大反射镜,到1mm口径的微透镜阵列,自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。
光学表面缺陷分析仪
采用激光扫描技术的off-line型光学表面缺陷检测与分类系统。
Candela CS920表面缺陷检测仪
采用光学表面分析(OSA)专用技术的自动特征缺陷(DOI)检测与分类系统。