台式无掩模光刻机
光刻模块 无掩模光刻 显微镜光刻
氮气发生器
高纯度进口氮气发生器。
F50/F54 自动膜厚测量仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的自动光学膜厚测试系统。
F60 全自动膜厚测试仪
增加了许多用于生产环境的功能,不同的F60仪器可根据波长范围加以区分。