光谱型椭偏仪
采用采用PEM相位调制技术,在142-2100 nm范围内,可对薄膜、液体等材料的薄膜厚度和光学常数...
F20单点膜厚测量仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的单点光学膜厚测试系统。
F40显微膜厚测量仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的显微光学膜厚测试系统。
F50/F54 自动膜厚测量仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的自动光学膜厚测试系统。
膜厚测量仪
以真空镀膜为设计目标,可便捷获得反射和透射光谱并进行低/高分析、确定 FWHM 并进行颜色分析。
棱镜耦合仪
SPA-4000棱镜耦合仪利用波导耦合原理可以测量薄膜或体块材料的折射率和薄膜厚度以及其热光系数,波...
F30 在线膜厚测试仪
采用光谱反射技术,在线监测沉积率、沉积层厚度、光学常数和半导体以及电介质层的均匀性。
F60 全自动膜厚测试仪
增加了许多用于生产环境的功能,不同的F60仪器可根据波长范围加以区分。
F3 单点膜厚测试仪
采用光谱反射技术实现nm到mm级薄膜厚度测量的单点光学膜厚测试系统。