作为一款缺陷形貌分析的测量仪器，其主要目的是对大型样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许多种错误的存在。Park NX20，这款大尺寸样品原子力显微镜，凭借着数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬，ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
强大全面的分析能力，Park NX20具备的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
产品特点
1）Smartscan智能扫描模式，“1，2，3”点击即可实现成像
2）Pinpoint Nanomechanical力控出图模式，更优越的力学形貌成像及各种电学测试
3）强大的内置集成软件系统，自带LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve软件模式
技术参数
低噪声XYZ位置传感器
高速Z轴扫描器，扫描范围15μm
自动多样点扫描，集成编码器的XY自动载样台（编码器可用于所有自动样品载台，XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm，重复率为1 µm）
用于高级扫描模式易插拔扩展槽。
200mm样品台（可选择300mm样品台）
选项/模式
标准成像 | 电学性能测量 | 机械性能测试 |
真正非接触式 接触式 侧向摩擦力显微技术（LFM） 相位模式，轻敲模式 | 导电AFM（ULCA和VECA） 静电力显微镜（EFM） 压电力显微镜（PFM） 扫描电容显微镜（SCM） 扫描开尔文探针显微镜（KPFM） 扫描电阻显微镜（SSRM） | 力调制显微镜（FMM） （PFM）压电力显微镜 力调制显微镜（FMM） 压痕，纳米刻蚀 相位成像 |
磁性能 | 热性能 | |
磁力显微镜（MFM） | 扫描热显微镜（SThM） |
应用
用于失效分析和大型样品研究的领先的纳米计算工具，满足各个领域的研究
缺陷检查成像和分析
高分辨率电子扫描模式
对样品合基片进行表面粗糙度测量
样品侧壁三维结构的测量
