通过将用户设计的电路图或者其他微纳米结构图形导入到设备里,设备将会根据用户设计的图形结构自动转换为光刻的数据格式,然后通过激光器发出光源直接照射在涂有感光材料的衬底(玻璃,晶圆)上,由此衬底上的感光材料就会产生曝光区和未曝光区,再由后制程(显影或者刻蚀)的方式,就将直接呈现出用户设计的图形线路。
通过将用户设计的电路图或者其他微纳米结构图形导入到设备里,设备将会根据用户设计的图形结构自动转换为光刻的数据格式,然后通过激光器发出光源直接照射在涂有感光材料的衬底(玻璃,晶圆)上,由此衬底上的感光材料就会产生曝光区和未曝光区,再由后制程(显影或者刻蚀)的方式,就将直接呈现出用户设计的图形线路。