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NX-PTR 全自动在线检测原子力显微镜
品 牌 ：Park
型 号 ：NX-PTR
产 地 ：韩国
关键词 ：NX-PTR,HGA,AFM,原子力显微镜,全自动AFM
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Park Systems的PTR系列是针对全自动工业级线上的原子力显微镜解决方案，适用于（不限于）长形条、磁头万向节组件(HGA)级滑块以及单滑块的沉降自动测量。凭借着亚纳米级精确度、高重复精度以及高通量，PTR系列是滑块厂商提高整体产量的理想测量工具，硬盘驱动滑块制造业要求工具不仅可以快速且流畅地测量较为尖沉降，同时还要保证高标准的精确度。这便是Park NX-PTR大展身手的领域。在超精确的较为尖沉降测量之外，自动化功能可较为大程度提高效率。这让NX-PTR成为硬盘驱动器滑块厂商的好的选择，兼顾佳的质量和高的产量。大多数原子力显微镜需要多次扫描才可以准确测量较为尖沉降，首先是大区域参考扫描，随后小区域高分辨率扫描。


    多次扫描占用大量时间，且限制了通量的提高。我们的扫描系统带来真正的平面扫描，有效地降低扫描次数。此外，True Non-Contact™模式让探针保持锋利，在延长使用寿命的同时，也提供高分辨率成像效果。相应地，Park NX-PTR能够生成感兴趣区域的详细准确图像，而无需进行参考扫描，以便修正扫描器伪影。



     基本技术参数

电动XY平台

电动Z平台

噪音

行程可达200mm x 200mm,

2 μm重现性 0.095nm分辨率

25 mm Z行程距离

0.1μm 分辨率 小于1μm 重现性

小于 0.5 μm/s

尺寸&重量

控制箱

设备需求环境

880（w）x 980（d）x 1460（h）

620kg

600（w）x 900（d）x 1330（h）

170kg

室温10 ℃~40 ℃

操作18 ℃~24 ℃

湿度 30%~60%


     主要功能

1.全自动线上，快速，精准可靠的PTR测量

2.不需要多次扫描

3.自动在线硬盘滑块测量

4.自动缺陷检测分析

5.自动激光校正，以及自动转换探针


    应用

    全自动化较为尖沉降(PTR)测量

    

    实现各类墙角的自动测量与分析。

    

    实现各类缺陷的全自动测量与分析，如表面尖角。